產品詳細介紹公司自主研制的0.1微米級精密運動平臺及集成控制系統是微電子制造和測試設備的核心部件，也是生物醫療設備和精密制造業發展的關鍵部件，這些產品在以上領域的應用可以極大提高我國的制造水平，縮小和先進國家的差距。
此類平臺是以下行業的關鍵部件：
◇半導體、集成電路封裝測試裝備
◇生物工程科研設備
◇醫療診斷儀器設備
◇精密微型制造機械（MEMS）
高精度空氣軸承（Air Bearing）平臺性能指標
◇分辨率: 10 nm (納米)
◇重復性精度 : 50 nm
◇定位精度: 0.1 micron（微米）
◇最大加速度 :
◇最大速度: 500 mm/sec（毫米/秒）
◇設計行程:
高精度、高動態直線軸承平臺(Cross Roller)性能指標
◇分辨率 : 50 nm (納米)
◇重復性精度 : 250 nm
◇定位精度 : 1 micron（微米）
◇最大加速度 : 16 Gs（重力加速度）
◇最大速度 : 2000 mm/sec（毫米/秒）
◇行程 : <= 100x100 mm^2，因設計要求不同而可以定制
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