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蝕刻清洗臺適用產業:半導體照明(LED)--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段;控制模式:手動控制模式、自動控制模式;制程應用:顯影制程; 蝕刻(微蝕刻)制程;去光阻清洗制程;去蠟(膠)清洗制程;精密清洗制程;光罩去光阻清洗制程
自動片盒清洗機適用產業:半導體照明(LED)--半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發光二級管(OLED)、太陽能光伏等;控制模式:手動控制模式、自動控制模式;制程應用:濕法清洗制程;適用對象:晶片盒
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