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X、Y、Z軸壓電陶瓷掃描臺-納動納米
產品型號:PK3L140-100U
產品代碼:
產品價格:1000
計量單位:021-54668263
折 扣 率: 0
最后更新:2022-04-29
關 注 度:1696
生產企業:上海納動納米位移技術有限公司
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產品詳細介紹產品描述
PK3L140-100U為高動態掃描產品,專為大承載動態應用設計的,外形設計為超薄型,緊湊的尺寸便于安裝在顯微鏡下,可與電動微米平臺進行配合使用,移動面設計為可以放置樣品、CCD相機、顯微物鏡等,便于用戶微納操作。
利用精密并聯運動設計通過FEA優化的精密彎曲來確保高剛度和較長的設備壽命,PK3L140-100U位移臺可提供最佳的性能。超高的剛度和動態使用頻率,可實現高精度和快速的閉環響應。
本產品具有亞納米性能。PK3L140-100U壓電納米臺均可提供閉環反饋(-S)或開環(無反饋)。獨特的位置傳感器并行計量設計可測量位移輸出,直接實現亞納米分辨率,線性誤差低于0.02%的精度和重復性。
PK3L140-100U壓電平臺可定制轉接板與面包板光學平臺上進行固定。壓電平臺可根據要求提供定制材料和真空制備版本。獨特的固定孔位設置,可對外界沖擊震動及溫度變化不敏感,具有非常高的穩定性能。
選配功能
—可定制轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可定制中心孔徑大小
應用領域
—原子力/掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術
—二維材料微納加工技術
上海納動納米位移技術有限公司
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加入時間:2016-05-16
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