 |
產品型號：SA-6/SA-8/SA-12
產品代碼：
產品價格：
折 扣 率： 0
最后更新：2019-02-27
關 注 度：4326
生產企業：深圳市鑫志尚電子有限公司
|
|
|
 與企業聯系時請告知該信息來自教育裝備網！ |
|
|
產品詳細介紹量產型半自動/全自動探針臺
型號 SA-6/SA-8/SA-12 外形 1500（長）*1700（寬）*1100(高)
重量 1700kg 電力需求/功率 220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規格參數 能夠測試的晶圓直徑 6,”8”,12”
晶圓厚度 300≤T≤1000um（標準） 300≧T(薄片機型）
晶圓厚度偏差 50um
Index time 300ms(標準速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動的時間)
Chuck 具備5軸移動機構 （X/Y/Z/theta/F）
X-Y軸行程 380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um
XY全行程機械定位精度 ±2um（環境溫度在±1°以內波動時）
XY最大速度 300mm/s
Chuck平面度 ≤5 um
Z軸行程 37mm，探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
Z軸移動解析度 0.1um
Z軸定位精度 ±2um
Theta 軸 ±5°/0.0001°
光柵尺 0.1um光柵尺
預對位平臺 光學原理檢測， 平邊或者notch ±1°定位精度
晶圓機械手 陶瓷機械手，cassette *1
晶圓裝載單元 一個升降單元，預對位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
自動對位系統 自動水平掃描、自動第一測試點定位、自動測試中心定位
自動上下片系統 料盒安全保護、晶圓定位邊預對準
精確對位單元 pattern matching
位移傳感器 采用靜電容傳感器 ， 分辨率 2um （option)
照明 同軸鹵素燈照明或LED光源
視場 低倍情況：4.9*3.6mm 中倍情況：1*0.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
PC配置 I5CPU，4G內存，128G固態硬盤等
LCD 顯示器 對位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
鍵盤 單元大小 15*15mm, 46 字母數字
報警器(三色燈) 紅，黃，綠
操作場地要求 2200mmX2200mm
操作界面 Windows中文操作界面，中文MAPING動態顯示
標記 上下標記 ，標記可以實時或者離線標記，標記耗時15~300ms，采用ink或者Laser
可以采用的cassette形式 FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可選附件 自動磨針臺 可以兼容高頻測試頭 晶圓ID 識別功能
可以匹配自動晶圓盒取放設備（AGV or OHT） 直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務器通訊
FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺內部可以達到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測試機接口
|
|
| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2017-01-11
|
|
|
在線客服
