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Research-電子束蒸發鍍膜機 可定制
計量單位:套
折 扣 率: 0
最后更新:2023-12-08
關 注 度:1240
生產企業:成都漢普升科技有限公司
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產品詳細介紹
●該設備為電阻、電子束或電阻電子束復合鍍膜系統,同時兼容IBE等離子刻蝕和在線輔助鍍膜,過流部件均采用SUS304制造,真空系統后置,標準配置分子泵系統,標配工業級人機界面和西門子PLC系統,手動和自動模式自由切換,能夠滿足工業客戶小批量生產和科研院所客戶科研實驗的需求。該系列設備不提供全手動操作控制系統。

形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發室和抽氣室為整體焊接式,一體機系統。

●真空系統:極限真空5X10-4Pa,主泵為復合分子泵。

●真空測量:配三路數字復合真空計,均采用安全防爆金屬測量規。

●工件架系統:客戶需求定制,配置可擴展4英寸、3英寸、2英寸基片的專用互換工裝,轉速3~30rpm變頻可調,工件盤為球形和行星工件盤可選,行星工件盤成本較高。

●烘烤系統:不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和PID控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。

●電子束蒸發源:E型電子束蒸發源系統(E型)1套,主體有屏蔽罩,單槍、單電源、單掃描,配置獨立高壓控制柜。

●坩堝:坩堝1套,電動轉位和點動轉位,配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

●電阻蒸發源:2套電阻蒸發源。(選配)

●膜厚測試系統:配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探頭。

●離子源輔助沉積系統:一套(選配離子源或高壓離子轟擊系統)

●控制系統:成熟可靠的真空鍍膜控制系統,工業級10英寸觸摸屏和西門子PLC,能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統,采用聲光報警。

●說明:根據用戶要求,公司愿與客戶聯合研發,共享知識產權,公司致力于工藝與設備完美匹配。
成都漢普升科技有限公司
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加入時間:2023-12-07
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